борофосфорносиликатное стекло

борофосфорносиликатное стекло
Двуокись кремния (кремнезем) с добавкой бора и фосфора, чтобы понизить температуру начала плавления стекла (окиси) с около 950 ºC для чистого SiO₂ до около 500 ºC для BPSG; используется для выравнивания поверхности, осажденной методом химического осаждения из паровой фазы.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]